保持环
保持环是CMP设备中的核心零部件，主要用于固定晶圆，可以提高晶圆去除率的不均匀性，从而保证了晶圆的平整度和质量，还提高了半导体产品的性能和可靠性
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产品特点
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产品参数
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相关方案
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质量管理
产品特点
不锈钢材质与高分子材料粘接
高精密
零件有极高的平面度和平行度要求
产品参数
| 材料 | 不锈钢和高分子材料 |
| 尺寸精度 | 0.005mm |
相关方案
质量管理
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